电子探针显微镜

电子探针显微镜

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扫描电⼦显微镜的特点有哪些？

扫描电⼦显微镜的特点有哪些？下⾯泽攸科技⼩编就给⼤家讲解⼀下扫描电镜的特点。

扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀,但由于其本⾝具有许多独特的优点,发展速度是很快的。

1仪器分辨率较⾼,通过⼆次电⼦象能够观察试样表⾯6nm左右的细节,采⽤LaB6电⼦枪,可以进⼀步提⾼到3nm。

2仪器放⼤倍数变化范围⼤,且能连续可调。因此可以根据需要选择⼤⼩不同的视场进⾏观察,同时在⾼放⼤倍数下也可

获得⼀般透射电镜较难达到的⾼亮度的清晰图像。

3观察样品的景深⼤,视场⼤,图像富有⽴体感,可直接观察起伏较⼤的粗糙表⾯和试样凹凸不平的⾦属断⼝象等,使⼈具

有亲临微观世界现场之感。

4样品制备简单,只要将块状或粉末状的样品稍加处理或不处理,就可直接放到扫描电镜中进⾏观察,因⽽更接近于物质

的⾃然状态。

5可以通过电⼦学⽅法有效地控制和改善图像质量,如亮度及反差⾃动保持,试样倾斜⾓度校正,图象旋转,或通过Y调制改

善图象反差的宽容度,以及图象各部分亮暗适中。采⽤双放⼤倍数装置或图象选择器,可在荧光屏上同时观察放⼤倍数不

同的图象。

6可进⾏综合分析。装上波长⾊散X射线谱仪(WDX)或能量⾊散X射线谱仪(EDX),使具有电⼦探针的功能,也能检测样

品发出的反射电⼦、X射线、阴极荧光、透射电⼦、俄歇电⼦等。把扫描电镜扩⼤应⽤到各种显微的和微区的分析⽅式,

显⽰出了扫描电镜的多功能。另外,还可以在观察形貌图象的同时,对样品任选微区进⾏分析;装上半导体试样座附件,通

过电动势象放⼤器可以直接观察晶体管或集成电路中的PN结和微观缺陷。由于不少扫描电镜电⼦探针实现了电⼦计算

机⾃动和半⾃动控制,因⽽⼤⼤提⾼了定量分析的速度。

泽攸科技ZEM台式扫描电镜

以上就是泽攸科技⼩编介绍的扫描电⼦显微镜的特点，想要了解更多咨询188-175-57412(微信同号)，也可去泽攸科技

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